锗烷GeH4
2023-09-22
锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积，且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。
容器信息 | ||
气瓶尺寸 | 容量 |
21.1°C温度下的压力： a130、b118或c104磅/平方英尺
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克 | ||
A030a | 1000 | |
规格 | |
锗烷成分 | 电子等级 |
二氧化碳 | < 2 ppm |
一氧化碳 | < 1 ppm |
氢气 | < 50 ppm |
氮气 | < 2 ppm |
氧气 + 氩气 | < 0.5 ppm |
总碳氢化合物 (如，甲烷) | < 1 ppm |
三锗烷 | < 1 ppm |
保存期限: 1 年 | |
物理性质 | |
分子量 | 76.64 |
空气中的可燃度极限 | 自燃的 |
气体在1个标准大气压（空气=1）和70cF(21.1°C)温度下的比重 | 2.65 |
气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度 | 0.198lbs/ft3 (3.17g/l) |
气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容 | 5.05ft3/lb (0.315l/g) |
在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)气压的熔点 | -266.6℉ (-165.9°C) |
在1个标准大气压的沸点 | -127℉ (-88.4°C) |
临界温度 | 94.7℉ (34.8°C) |
临界压力 | 805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar) |
毒性 | |
时间加权平均阈限值> | 0.2 ppm |
半数致死浓度 | 50 ppm |
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